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Medientyp: E-Artikel Titel: Determination of the infrared proportionality coefficient of the CHn stretching mode for a-C:H and a-SiC:H films using ERD methods Beteiligte: Tanaka, M.; Iwata, Y.; Fujimoto, F.; Komaki, K.; Kobayashi, K.; Yamashita, H.; Haba, M. Erschienen: Elsevier BV, 1990 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(90)90822-c ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: