> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Inactivation of implanted impurities during buried Si3N4 layer formation Beteiligte: Gerasimenko, N.N.; Stas, V.F.; Corbett, J.W. Erschienen: Elsevier BV, 1991 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(91)95295-o ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: