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Medientyp: E-Artikel Titel: Amorphous Si — the role of MeV implantation in elucidating defect and thermodynamic properties Beteiligte: Poate, J.M.; Coffa, S.; Jacobson, D.C.; Polman, A.; Roth, J.A.; Olson, G.L.; Roorda, S.; Sinke, W.; Custer, J.S.; Thompson, M.O.; Spaepen, F.; Donovan, E. Erschienen: Elsevier BV, 1991 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 55 (1991) 1-4, Seite 533-543 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(91)96226-b ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: