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Medientyp: E-Artikel Titel: Study of carbon and oxygen incorporation in reactively sputtered Cr-Si-Al films using ERDA Beteiligte: Neelmeijer, C.; Grötzschel, R.; Klabes, R.; Kreissig, U.; Sobe, G. Erschienen: Elsevier BV, 1992 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(92)95516-t ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: