• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: He implant-damage isolation of MOVPE grown GaAs/InGaP/InGaAsP layers
  • Beteiligte: Strusny, H.; Ressel, P.; Vogel, K.; Würfl, J.
  • Erschienen: Elsevier BV, 1996
  • Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0168-583x(95)01005-x
  • ISSN: 0168-583X
  • Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: