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Medientyp: E-Artikel Titel: Lattice location of erbium atoms implanted into silicon Beteiligte: Kozanecki, A.; Kaczanowski, J.; Wilson, R.; Sealy, B.J. Erschienen: Elsevier BV, 1996 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(95)01107-2 ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: