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Medientyp: E-Artikel Titel: Electrical properties of SiNx/thin-Si-interlayer/GaAs MIS systems ruled by surface superstructures of GaAs and crystallinity of Si interlayers Beteiligte: Fujieda, Shinji; Benoit, Emmanuel; Baba, Toshio Erschienen: Elsevier BV, 1992 Erschienen in: Applied Surface Science, 60-61 (1992), Seite 716-720 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0169-4332(92)90502-o ISSN: 0169-4332 Entstehung: Anmerkungen: