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Medientyp: E-Artikel Titel: Influence of temperature on the properties of sputtered AlSiCu films Beteiligte: De Bosscher, W.; Matilainen, M.; Witvrouw, A.; Maex, K. Erschienen: Elsevier BV, 1993 Erschienen in: Applied Surface Science Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0169-4332(93)90183-c ISSN: 0169-4332 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Surfaces and Interfaces ; General Physics and Astronomy ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: