• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: A high sensitivity CMOS gas flow sensor on a thin dielectric membrane
  • Beteiligte: Moser, David; Baltes, Henry
  • Erschienen: Elsevier BV, 1993
  • Erschienen in: Sensors and Actuators A: Physical
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/0924-4247(93)80008-5
  • ISSN: 0924-4247
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