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Medientyp: E-Artikel Titel: A high sensitivity CMOS gas flow sensor on a thin dielectric membrane Beteiligte: Moser, David; Baltes, Henry Erschienen: Elsevier BV, 1993 Erschienen in: Sensors and Actuators A: Physical Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0924-4247(93)80008-5 ISSN: 0924-4247 Entstehung: Anmerkungen: