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Medientyp: E-Artikel Titel: Silicon-containing copolymers of MMA tested for a positive-tone high-resolution bi-layer e-beam resist system Beteiligte: Maessen, J.; van den Boogaart, S.; Verstegen, E.J.K.; Kloosterboer, J.G.; van Delft, F.C.M.J.M.; Catsburg, W.; Habraken, F.H.P.M. Erschienen: Elsevier BV, 2005 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2004.12.068 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: