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Medientyp: E-Artikel Titel: High resolution variable-shaped beam direct write Beteiligte: Hahmann, Peter; Bettin, Lutz; Boettcher, Monika; Denker, Ulrich; Elster, Thomas; Jahr, Steffen; Kirschstein, Ulf-Carsten; Kliem, Karl-Heinz; Schnabel, Bernd Erschienen: Elsevier BV, 2007 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2007.01.049 ISSN: 0167-9317 Entstehung: Anmerkungen: