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Medientyp: E-Artikel Titel: Fast heating and cooling in nanoimprint using a spring-loaded adapter in a preheated press Beteiligte: Schift, Helmut; Bellini, Sandro; Gobrecht, Jens; Reuther, Frank; Kubenz, Mike; Mikkelsen, Morten Bo; Vogelsang, Konrad Erschienen: Elsevier BV, 2007 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2007.01.061 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: