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Medientyp: E-Artikel Titel: Characteristics of negative electron beam resists, ma-N2410 and ma-N2405 Beteiligte: Kim, Youngsang; Jeong, Heejun Erschienen: Elsevier BV, 2008 Erschienen in: Microelectronic Engineering, 85 (2008) 3, Seite 582-586 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2007.10.005 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: