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Medientyp: E-Artikel Titel: Equalising stamp and substrate deformations in solid parallel-plate UV-based nanoimprint lithography Beteiligte: Bergmair, Iris; Mühlberger, Michael; Gusenbauer, Markus; Schöftner, Rainer; Hingerl, Kurt Erschienen: Elsevier BV, 2008 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2007.12.079 ISSN: 0167-9317 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: