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Medientyp: E-Artikel Titel: Non-ideal behavior of a driving resonator loop in a vibratory capacitive microgyroscope Beteiligte: Lee, Ahra; Ko, Hyoungho; Cho, Dong-il “Dan”; Hwang, Gunn Erschienen: Elsevier BV, 2008 Erschienen in: Microelectronics Journal Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mejo.2007.10.025 ISSN: 0026-2692 Schlagwörter: General Engineering Entstehung: Anmerkungen: