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Medientyp: E-Artikel Titel: Laser-induced front side etching of fused silica with XeF excimer laser using thin metal layers Beteiligte: Lorenz, Pierre; Ehrhardt, Martin; Wehrmann, Anja; Zimmer, Klaus Erschienen: Elsevier BV, 2012 Erschienen in: Applied Surface Science Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.apsusc.2011.10.145 ISSN: 0169-4332 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Surfaces and Interfaces ; General Physics and Astronomy ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: