> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Low-temperature Interconnection of PVD-Aluminium Metallization Beteiligte: Geipel, Torsten; Kumm, Julia; Moeller, Monja; Kroely, Laurent; Kraft, Achim; Eitner, Ulrich; Wolf, Andreas; Zhang, Zhenhao; Wohlfahrt, Peter Erschienen: Elsevier BV, 2016 Erschienen in: Energy Procedia Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.egypro.2016.10.088 ISSN: 1876-6102 Schlagwörter: General Earth and Planetary Sciences ; General Environmental Science Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang