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Medientyp: E-Artikel Titel: Miniature Integrated High-vacuum MEMS Beteiligte: Grzebyk, Tomasz; Górecka-Drzazga, Anna; Dziuban, Jan A.; Dankovic, Tatjana; Feinerman, Alan; Busta, Heinz Erschienen: Elsevier BV, 2014 Erschienen in: Procedia Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.proeng.2014.11.298 ISSN: 1877-7058 Schlagwörter: Industrial and Manufacturing Engineering Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang