> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Continuum and kinetic simulations of the neutral gas flow in an industrial physical vapor deposition reactor Beteiligte: Bobzin, Kirsten; Brinkmann, Ralf Peter; Mussenbrock, Thomas; Bagcivan, Nazlim; Brugnara, Ricardo Henrique; Schäfer, Marcel; Trieschmann, Jan Erschienen: Elsevier BV, 2013 Erschienen in: Surface and Coatings Technology, 237 (2013), Seite 176-181 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.surfcoat.2013.08.018 ISSN: 0257-8972 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Condensed Matter Physics ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: