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Medientyp: E-Artikel Titel: Fully integrated 512Mb DRAMs with HSG-merged-AHO cylinder capacitor Beteiligte: Kim, Seong-Goo; Hyun, Chang-Suk; Park, Don; Cho, Tai-Heui; Suk, Jong-Gyu; Hong, Hyeong-Sun; Lee, Kang-Yoon; Oh, Kyung-Seok Erschienen: Elsevier BV, 2006 Erschienen in: Solid-State Electronics, 50 (2006) 6, Seite 1030-1034 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.sse.2006.05.006 ISSN: 0038-1101 Entstehung: Anmerkungen: