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Medientyp: E-Artikel Titel: Optical on wafer measurement of Ge content of virtual SiGe-substrates Beteiligte: Oehme, Michael; Bauer, Matthias Erschienen: Elsevier BV, 1998 Erschienen in: Thin Solid Films Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0040-6090(98)01252-8 ISSN: 0040-6090 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: