• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Optical on wafer measurement of Ge content of virtual SiGe-substrates
  • Beteiligte: Oehme, Michael; Bauer, Matthias
  • Erschienen: Elsevier BV, 1998
  • Erschienen in: Thin Solid Films
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/s0040-6090(98)01252-8
  • ISSN: 0040-6090
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: