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Medientyp: E-Artikel Titel: Ultra-thin SiO2 film studies: index, thickness, roughness and the initial oxidation regime Beteiligte: A. Irene, Eugene Erschienen: Elsevier BV, 2001 Erschienen in: Solid-State Electronics, 45 (2001) 8, Seite 1207-1217 Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0038-1101(00)00258-6 ISSN: 0038-1101 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: