• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Some investigations in holographic microscopic interferometry with respect to the estimation of stress and strain in micro-opto-electro-mechanical systems (MOEMS)
  • Beteiligte: Wernicke, Günther; Bouamama, Larbi; Kruschke, Oliver; Demoli, Nazif; Gruber, Hartmut; Krüger, Sven
  • Erschienen: Elsevier BV, 2001
  • Erschienen in: Optics and Lasers in Engineering
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/s0143-8166(01)00073-2
  • ISSN: 0143-8166
  • Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: