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Medientyp: E-Artikel Titel: Design and realization of a very high-resolution FIB nanofabrication instrument Beteiligte: Gierak, J.; Septier, A.; Vieu, C. Erschienen: Elsevier BV, 1999 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0168-9002(98)01541-1 ISSN: 0168-9002 Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: