• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: AES analysis of failures in Cu based electromigration test samples
  • Beteiligte: Baunack, S.; Kötter, T.G.; Wendrock, H.; Wetzig, K.
  • Erschienen: Elsevier BV, 2001
  • Erschienen in: Applied Surface Science
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1016/s0169-4332(01)00287-2
  • ISSN: 0169-4332
  • Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Surfaces and Interfaces ; General Physics and Astronomy ; General Chemistry
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: