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Medientyp: E-Artikel Titel: Donor center formation in hydrogen implanted silicon Beteiligte: Neustroev, E.P; Antonova, I.V; Stas, V.F; Popov, V.P; Obodnikov, V.I Erschienen: Elsevier BV, 1999 Erschienen in: Physica B: Condensed Matter Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0921-4526(99)00168-4 ISSN: 0921-4526 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: