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Medientyp: E-Artikel Titel: Properties of extremely thin silicon layer in silicon-on-insulator structure formed by smart-cut technology Beteiligte: Popov, V.P; Antonova, I.V; Stas, V.F; Mironova, L.V; Gutakovskii, A.K; Spesivtsev, E.V; Mardegzhov, A.S; Franznusov, A.A; Feofanov, G.N Erschienen: Elsevier BV, 2000 Erschienen in: Materials Science and Engineering: B Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0921-5107(99)00437-7 ISSN: 0921-5107 Schlagwörter: Mechanical Engineering ; Mechanics of Materials ; Condensed Matter Physics ; General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: