• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: High-Throughput SEM via Multi-Beam SEM: Applications in Materials Science
  • Beteiligte: Michael, Joseph R.; Nakakura, Craig Y.; Garbowski, Tomasz; Lena Eberle, Anna; Kemen, Thomas; Zeidler, Dirk
  • Erschienen: Oxford University Press (OUP), 2015
  • Erschienen in: Microscopy and Microanalysis
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1017/s1431927615004286
  • ISSN: 1435-8115; 1431-9276
  • Schlagwörter: Instrumentation
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: