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Medientyp: E-Artikel Titel: Selective Fragmentation of Radiation-Sensitive Novel Polymeric Resist Materials by Inner-Shell Irradiation Beteiligte: Chagas, Gabriela Ramos; Satyanarayana, Vardhineedi Sri Venkata; Kessler, Felipe; Belmonte, Guilherme Kretzmann; Gonsalves, Kenneth E.; Weibel, Daniel Eduardo Erschienen: American Chemical Society (ACS), 2015 Erschienen in: ACS Applied Materials & Interfaces, 7 (2015) 30, Seite 16348-16356 Sprache: Englisch DOI: 10.1021/acsami.5b03378 ISSN: 1944-8244; 1944-8252 Entstehung: Anmerkungen: