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Medientyp: E-Artikel Titel: In Situ Observation of Water Behavior at the Surface and Buried Interface of a Low-K Dielectric Film Beteiligte: Zhang, Xiaoxian; Myers, John N.; Bielefeld, Jeffery D.; Lin, Qinghuang; Chen, Zhan Erschienen: American Chemical Society (ACS), 2014 Erschienen in: ACS Applied Materials & Interfaces Sprache: Englisch DOI: 10.1021/am504833v ISSN: 1944-8244; 1944-8252 Entstehung: Anmerkungen: