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Medientyp: E-Artikel Titel: Design of Volatile Mixed-Ligand Tantalum(V) Compounds as Precursors to Ta2O5 Films Beteiligte: Appel, Linus; Fiz, Raquel; Tyrra, Wieland; Pantenburg, Ingo; Mathur, Sanjay Erschienen: American Chemical Society (ACS), 2015 Erschienen in: Crystal Growth & Design, 15 (2015) 3, Seite 1141-1149 Sprache: Englisch DOI: 10.1021/cg501438k ISSN: 1528-7483; 1528-7505 Entstehung: Anmerkungen: