• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Investigation of the chemical vapor deposition of silicon carbide from tetramethylsilane by in situ temperature and gas composition measurements
  • Beteiligte: Herlin, Nathalie; Lefebvre, Michel; Pealat, Michel; Perrin, Jerome
  • Erschienen: American Chemical Society (ACS), 1992
  • Erschienen in: The Journal of Physical Chemistry
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1021/j100196a041
  • ISSN: 0022-3654; 1541-5740
  • Schlagwörter: Physical and Theoretical Chemistry ; General Engineering
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