Erschienen:
Royal Society of Chemistry (RSC), 2019
Erschienen in:
RSC Advances, 9 (2019) 46, Seite 27117-27124
Sprache:
Englisch
DOI:
10.1039/c9ra03574e
ISSN:
2046-2069
Entstehung:
Anmerkungen:
Beschreibung:
<p>Low-temperature giant-dielectric-constant thin films (In<sub>0.0025</sub>Nb<sub>0.0025</sub>Ti<sub>0.995</sub>O<sub>2</sub>) fabricated with RF sputtering are employed as the dielectrics for IZO-TFTs.</p>