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Medientyp: E-Artikel Titel: LATERALLY ISOLATED POLYSILICON BEAM PROCESS Beteiligte: NAGARAJAN, RANGANATHAN; AGARWAL, AJAY Erschienen: World Scientific Pub Co Pte Lt, 2003 Erschienen in: International Journal of Computational Engineering Science, 4 (2003) 2, Seite 297-301 Sprache: Englisch DOI: 10.1142/s1465876303001125 ISSN: 1465-8763 Schlagwörter: Computational Mathematics ; Computational Theory and Mathematics Entstehung: Anmerkungen: