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Medientyp: E-Artikel Titel: Effect of Various Copper Salt Precursors on Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon Beteiligte: Williams, Max Owen; Kolhep, Maximilian; Zacharias, Margit Erschienen: The Electrochemical Society, 2019 Erschienen in: ECS Journal of Solid State Science and Technology, 8 (2019) 2, Seite P93-P98 Sprache: Englisch DOI: 10.1149/2.0061902jss ISSN: 2162-8769; 2162-8777 Entstehung: Anmerkungen: