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Medientyp: E-Artikel Titel: Evolution of Structural and Electrical Properties of Plasma Nitrided Silicon Oxynitrides During the Formation Process Beteiligte: Storbeck, Olaf Erschienen: The Electrochemical Society, 2006 Erschienen in: ECS Meeting Abstracts Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1149/ma2006-02/20/1013 ISSN: 2151-2043 Schlagwörter: General Medicine Entstehung: Anmerkungen: Beschreibung: <jats:p>Abstract not Available.</jats:p> Zugangsstatus: Freier Zugang