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Medientyp: E-Artikel Titel: Composition Control of TaSixNy Thin Films by Chemical Vapor Deposition for Future n-MOSFET Metal Gate Electrode Beteiligte: Sugita, Yoshihiro; Aoyama, Takayuki; Nara, Yasuo Erschienen: The Electrochemical Society, 2006 Erschienen in: ECS Meeting Abstracts, MA2006-02 (2006) 22, Seite 1122-1122 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1149/ma2006-02/22/1122 ISSN: 2151-2043 Schlagwörter: General Medicine Entstehung: Anmerkungen: Beschreibung: Abstract not Available. Zugangsstatus: Freier Zugang