High-reflectance dielectric mirrors deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on GaAs-AlGaAs semiconductor lasers with inductively coupled plasma etched facets
Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp:
E-Artikel
Titel:
High-reflectance dielectric mirrors deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on GaAs-AlGaAs semiconductor lasers with inductively coupled plasma etched facets
Beteiligte:
Horst, S.C.;
Hinkel, D.S.;
Fitz, J.L.;
Turk, H.
Erschienen:
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2000