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Medientyp: E-Artikel Titel: Electrochemically driven polypyrrole bilayers for moving and positioning bulk micromachined silicon plates Beteiligte: Smela, E.; Kallenbach, M.; Holdenried, J. Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 1999 Erschienen in: Journal of Microelectromechanical Systems Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/84.809051 ISSN: 1057-7157 Entstehung: Anmerkungen: