> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Non-Destructive Imaging of Organosilicate Glass (OSG) Thin Films at Low Voltage With the EsB Detector Beteiligte: Garitagoitia Cid, Aranzazu; Moayedi, Elham; Rosenkranz, Rudiger; Clausner, Andre; Pakbaz, Khashayar; Zschech, Ehrenfried Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2016 Erschienen in: IEEE Transactions on Device and Materials Reliability Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/tdmr.2016.2628166 ISSN: 1530-4388; 1558-2574 Entstehung: Anmerkungen: