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Medientyp:
E-Artikel
Titel:
The role of Ar+, CH+<inf>4</inf>, O+<inf>2</inf>and backscattered Pb+ ions during Nb/Oxide/PbAuIn edge junction fabrication
Beteiligte:
Brosious, P.
Erschienen:
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 1985