• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Lateral-Transistor Test Structures for Evaluating the Effectiveness of Surface Doping Techniques
  • Beteiligte: Qi, Lin; Lorito, Gianpaolo; Nanver, Lis K.
  • Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2012
  • Erschienen in: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 25 (2012) 4, Seite 581-588
  • Sprache: Ohne Angabe
  • DOI: 10.1109/tsm.2012.2206834
  • ISSN: 0894-6507; 1558-2345
  • Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Industrial and Manufacturing Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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