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Medientyp: E-Artikel Titel: Lateral-Transistor Test Structures for Evaluating the Effectiveness of Surface Doping Techniques Beteiligte: Qi, Lin; Lorito, Gianpaolo; Nanver, Lis K. Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2012 Erschienen in: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 25 (2012) 4, Seite 581-588 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1109/tsm.2012.2206834 ISSN: 0894-6507; 1558-2345 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Industrial and Manufacturing Engineering ; Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: