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Medientyp: E-Artikel Titel: Application of ANN for Fault Detection in Overhead Transport Systems for Semiconductor Fab Beteiligte: Zhakov, Artem; Zhu, Hailong; Siegel, Armin; Rank, Sebastian; Schmidt, Thorsten; Fienhold, Lars; Hummel, Stephan Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2020 Erschienen in: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 33 (2020) 3, Seite 337-345 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/tsm.2020.2984326 ISSN: 0894-6507; 1558-2345 Entstehung: Anmerkungen: