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Medientyp: E-Artikel Titel: Ptychography as a wavefront sensor for high-numerical aperture extreme ultraviolet lithography: analysis and limitations Beteiligte: Dwivedi, Priya; Pereira, Silvania F.; Urbach, H. Paul Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2019 Erschienen in: Optical Engineering Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/1.oe.58.4.043102 ISSN: 0091-3286 Schlagwörter: General Engineering ; Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: