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Medientyp: E-Artikel Titel: Local smoothing of optical aluminum surfaces by reactive ion beam etching Beteiligte: Ulitschka, Melanie; Bauer, Jens; Dornberg, Gregor; Frost, Frank; Arnold, Thomas Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2020 Erschienen in: Optical Engineering, 59 (2020) 3, Seite 1 Sprache: Ohne Angabe DOI: 10.1117/1.oe.59.3.035108 ISSN: 0091-3286 Entstehung: Anmerkungen: