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Medientyp: E-Artikel Titel: Cryogenic testing of a unimorph-type deformable mirror and theoretical material optimization Beteiligte: Goy, Matthias; Reinlein, Claudia; Kinast, Jan; Lange, Nicolas Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2013 Erschienen in: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS Sprache: Englisch DOI: 10.1117/1.jmm.13.1.011107 ISSN: 1932-5150 Schlagwörter: Electrical and Electronic Engineering ; Mechanical Engineering ; Condensed Matter Physics ; Atomic and Molecular Physics, and Optics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: