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Medientyp: E-Artikel Titel: Measuring multielectron beam imaging fidelity with a signal-to-noise ratio analysis Beteiligte: Mukhtar, Maseeh; Bunday, Benjamin D.; Quoi, Kathy; Malloy, Matt; Thiel, Brad Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2016 Erschienen in: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 15 (2016) 3, Seite 034004 Sprache: Englisch DOI: 10.1117/1.jmm.15.3.034004 ISSN: 1932-5150 Entstehung: Anmerkungen: