• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Measuring multielectron beam imaging fidelity with a signal-to-noise ratio analysis
  • Beteiligte: Mukhtar, Maseeh; Bunday, Benjamin D.; Quoi, Kathy; Malloy, Matt; Thiel, Brad
  • Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2016
  • Erschienen in: Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 15 (2016) 3, Seite 034004
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1117/1.jmm.15.3.034004
  • ISSN: 1932-5150
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