• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Review: Machine learning for advancing low-temperature plasma modeling and simulation
  • Beteiligte: Trieschmann, Jan; Vialetto, Luca; Gergs, Tobias
  • Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2023
  • Erschienen in: Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology, 22 (2023) 4
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/1.jmm.22.4.041504
  • ISSN: 2708-8340
  • Entstehung:
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