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Medientyp: E-Artikel Titel: Sensing performance of plasma-enhanced chemical vapor deposition SiC-SiO2-SiC horizontal slot waveguides Beteiligte: Pandraud, Grégory; Margallo-Balbás, Eduardo; Sarro, Pasqualina M. Erschienen: SPIE-Intl Soc Optical Eng, 2012 Erschienen in: Journal of Nanophotonics, 6 (2012) 1, Seite 063530 Sprache: Englisch DOI: 10.1117/1.jnp.6.063530 ISSN: 1934-2608 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: