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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Femtosecond laser micromachining of technical materials Beteiligte: Bonse, Joern Erschienen: SPIE, 2000 Erschienen in: Proceedings of SPIE (2000) Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.407346 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: